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    紫外曝光 光刻領域

    發布時間:2016-12-11點擊數:2734次

    激埃特光電生產的大尺寸紫外光學薄膜器件主要用于紫外曝光機系統中,其中紫外反射鏡采用線膨脹系數為(3.3士0.1)×10-6/K的高硼硅玻璃做為基底,內表面精密數控加工成形,鍍制多層硬質氧化物薄膜,產品具有光斑均勻性好、紫外反射率高、使用壽命長等特點,在PCB、平板顯示、LED等行業有著廣泛的應用。


    包括半導體、集成電路、LED、MEMS、TFT、生物器件和納米科技等產業,其中紫外反射鏡采用線膨脹系數為(3.3士0.1)×10-6/K的高硼硅玻璃做為基底,內表面精密數控加工成形,鍍制多層硬質氧化物薄膜,產品具有光斑均勻性好、紫外反射率高、使用壽命長等特點。

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